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渦旋式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)特點

渦旋式無油機械真空泵是從渦旋式壓縮機演變而來的一種新型的干式真空泵。 該泵特點是重量輕、體積小，為臥式結(jié)構(gòu)，可以從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ，是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。

爪式泵的結(jié)構(gòu)及特點

爪式泵的整機型式分為立式和臥式兩種。

爪式泵的壓縮比、理論抽速、壓縮功的計算

爪形轉(zhuǎn)子干式機械真空泵的壓縮比、壓縮功、理論抽速等工作特性的計算方法。

活塞式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)

活塞式無油真空泵的外形呈扁方形，是由四個階梯形活塞及四個階梯形氣缸組成。與電機直聯(lián)的軸通過四根連桿帶動四個活塞�；钊�的背面空間由次級活塞抽氣，以減少泄漏和降低極限壓力。每個氣缸都有進氣閥與排氣閥。

無油干式機械真空泵概述

無油干式機械真空泵 ( 以下簡稱干式機械泵 ) 是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式機械真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

無油渦旋真空泵的特點與應(yīng)用領(lǐng)域

清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有很多特點。

半導(dǎo)體工藝中應(yīng)用干式真空泵的幾種選擇類型

根據(jù)在機械結(jié)構(gòu)設(shè)計上有明顯差異，因此可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型：圓裂片式、爪式、組合式(羅茨+爪)、螺桿式，其中前三種被稱為多級泵。

普發(fā)真空推出HiScroll系列超靜音干泵，無油智控適用于多種場景

普發(fā)真空推出了HiScroll系列超靜音干泵，此系列為無油真空泵，具備同級別泵類中最低噪音水平，并配備智能控制系統(tǒng)。

Edwards發(fā)布兩款工業(yè)應(yīng)用高性能GXS干式螺桿真空泵

新的GXS450和GXS750干式螺桿真空泵及泵組采用創(chuàng)新的螺桿技術(shù)和高效率驅(qū)動技術(shù)，以提供高泵的抽真空性能，可讓用戶優(yōu)化其制程，實現(xiàn)較低的總體擁有成本，并減少占地面積。

東大研發(fā)干式真空泵打破國際壟斷

東北大學的機械工程與自動化學院巴德純教授帶領(lǐng)課題組，與中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司合作，開發(fā)了多個具有自主知識產(chǎn)權(quán)的干式真空泵(機組)。

東北大學干式真空泵突破IC制造瓶頸

在東北大學獲悉，該校自主研發(fā)的干式真空泵達到國際先進水平，對水電能耗分別降低了31.2%和27.6%，污水處理量減少了99.5%，為我國IC制造業(yè)快速健康發(fā)展掃清了障礙。

一種單螺旋轉(zhuǎn)子型線及其熱變形研究

本文對單螺旋轉(zhuǎn)子的型線和結(jié)構(gòu)進行展開了研究，設(shè)計了單螺旋轉(zhuǎn)子的空間型線，推導(dǎo)了轉(zhuǎn)子的母線型線方程；同時，為獲得良好的性能，螺旋轉(zhuǎn)子采用外圓面內(nèi)錐面的組合式結(jié)構(gòu)。

高真空干泵螺旋級抽氣性能的數(shù)值計算模型

本文根據(jù)單螺旋轉(zhuǎn)子的特點，建立了單螺旋轉(zhuǎn)子的幾何模型，并采用DSMC方法分析其抽氣過程，模擬分子流態(tài)下氣體分子在泵內(nèi)的運動情況。

干式真空泵怎么進行優(yōu)化選擇？

干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟效益，本文講述了干式真空泵的選擇方法。

浮動式渦旋干泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計與特點

本文從渦旋真空泵的基本工作原理、傳統(tǒng)渦旋干泵所存在的密封及加工精度問題進行剖析，進而引出浮動式渦旋干泵結(jié)構(gòu)的特點及性能優(yōu)勢，并對今后的市場發(fā)展進行了展望。

渦輪式干泵的原理和排氣過程示意圖

渦輪式干泵是近年來迅速普及的一種新型干泵，本文講述了渦輪式干泵的原理和排氣過程示意圖。

無油渦旋真空泵技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用

本文講述了無油渦旋真空泵的特點與應(yīng)用領(lǐng)域，無油渦旋真空泵工作原理、技術(shù)指標以及與普通油泵的對比，無油渦旋真空泵的優(yōu)點等相關(guān)技術(shù)問題。

浮動式渦旋干泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計與特點

本文從渦旋真空泵的基本工作原理、傳統(tǒng)渦旋干泵所存在的密封及加工精度問題進行剖析，進而引出浮動式渦旋干泵結(jié)構(gòu)的特點及性能優(yōu)勢。

雙面非對稱干式渦旋真空泵的設(shè)計計算

SIHIdry H400 型干式真空泵效益性分析

紹了錦西石化分公司芳烴抽提裝置抽真空系統(tǒng)改造的內(nèi)容，介紹了蒸汽抽真空器及干式真空的原理及特點，通過對二者的比較，干式真空泵自動化程度高、環(huán)保等優(yōu)點得意彰顯。