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渦旋式無油機(jī)械真空泵的結(jié)構(gòu)特點

渦旋式無油機(jī)械真空泵是從渦旋式壓縮機(jī)演變而來的一種新型的干式真空泵。 該泵特點是重量輕、體積小，為臥式結(jié)構(gòu)，可以從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ，是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。

爪式泵的結(jié)構(gòu)及特點

爪式泵的整機(jī)型式分為立式和臥式兩種。

爪式泵的壓縮比、理論抽速、壓縮功的計算

爪形轉(zhuǎn)子干式機(jī)械真空泵的壓縮比、壓縮功、理論抽速等工作特性的計算方法。

活塞式無油機(jī)械真空泵的結(jié)構(gòu)

活塞式無油真空泵的外形呈扁方形，是由四個階梯形活塞及四個階梯形氣缸組成。與電機(jī)直聯(lián)的軸通過四根連桿帶動四個活塞�；钊�的背面空間由次級活塞抽氣，以減少泄漏和降低極限壓力。每個氣缸都有進(jìn)氣閥與排氣閥。

無油干式機(jī)械真空泵概述

無油干式機(jī)械真空泵 ( 以下簡稱干式機(jī)械泵 ) 是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式機(jī)械真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。

無油渦旋真空泵的特點與應(yīng)用領(lǐng)域

清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有很多特點。

半導(dǎo)體工藝中應(yīng)用干式真空泵的幾種選擇類型

根據(jù)在機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計上有明顯差異，因此可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型：圓裂片式、爪式、組合式(羅茨+爪)、螺桿式，其中前三種被稱為多級泵。

普發(fā)真空推出HiScroll系列超靜音干泵，無油智控適用于多種場景

普發(fā)真空推出了HiScroll系列超靜音干泵，此系列為無油真空泵，具備同級別泵類中最低噪音水平，并配備智能控制系統(tǒng)。

Edwards發(fā)布兩款工業(yè)應(yīng)用高性能GXS干式螺桿真空泵

新的GXS450和GXS750干式螺桿真空泵及泵組采用創(chuàng)新的螺桿技術(shù)和高效率驅(qū)動技術(shù)，以提供高泵的抽真空性能，可讓用戶優(yōu)化其制程，實現(xiàn)較低的總體擁有成本，并減少占地面積。

東大研發(fā)干式真空泵打破國際壟斷

東北大學(xué)的機(jī)械工程與自動化學(xué)院巴德純教授帶領(lǐng)課題組，與中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司合作，開發(fā)了多個具有自主知識產(chǎn)權(quán)的干式真空泵(機(jī)組)。

東北大學(xué)干式真空泵突破IC制造瓶頸

在東北大學(xué)獲悉，該校自主研發(fā)的干式真空泵達(dá)到國際先進(jìn)水平，對水電能耗分別降低了31.2%和27.6%，污水處理量減少了99.5%，為我國IC制造業(yè)快速健康發(fā)展掃清了障礙。

一種單螺旋轉(zhuǎn)子型線及其熱變形研究

本文對單螺旋轉(zhuǎn)子的型線和結(jié)構(gòu)進(jìn)行展開了研究，設(shè)計了單螺旋轉(zhuǎn)子的空間型線，推導(dǎo)了轉(zhuǎn)子的母線型線方程；同時，為獲得良好的性能，螺旋轉(zhuǎn)子采用外圓面內(nèi)錐面的組合式結(jié)構(gòu)。

高真空干泵螺旋級抽氣性能的數(shù)值計算模型

本文根據(jù)單螺旋轉(zhuǎn)子的特點，建立了單螺旋轉(zhuǎn)子的幾何模型，并采用DSMC方法分析其抽氣過程，模擬分子流態(tài)下氣體分子在泵內(nèi)的運(yùn)動情況。

干式真空泵怎么進(jìn)行優(yōu)化選擇？

干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟(jì)效益，本文講述了干式真空泵的選擇方法。

浮動式渦旋干泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計與特點

本文從渦旋真空泵的基本工作原理、傳統(tǒng)渦旋干泵所存在的密封及加工精度問題進(jìn)行剖析，進(jìn)而引出浮動式渦旋干泵結(jié)構(gòu)的特點及性能優(yōu)勢，并對今后的市場發(fā)展進(jìn)行了展望。

渦輪式干泵的原理和排氣過程示意圖

渦輪式干泵是近年來迅速普及的一種新型干泵，本文講述了渦輪式干泵的原理和排氣過程示意圖。

無油渦旋真空泵技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用

本文講述了無油渦旋真空泵的特點與應(yīng)用領(lǐng)域，無油渦旋真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對比，無油渦旋真空泵的優(yōu)點等相關(guān)技術(shù)問題。

浮動式渦旋干泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計與特點

本文從渦旋真空泵的基本工作原理、傳統(tǒng)渦旋干泵所存在的密封及加工精度問題進(jìn)行剖析，進(jìn)而引出浮動式渦旋干泵結(jié)構(gòu)的特點及性能優(yōu)勢。

雙面非對稱干式渦旋真空泵的設(shè)計計算

SIHIdry H400 型干式真空泵效益性分析

紹了錦西石化分公司芳烴抽提裝置抽真空系統(tǒng)改造的內(nèi)容，介紹了蒸汽抽真空器及干式真空的原理及特點，通過對二者的比較，干式真空泵自動化程度高、環(huán)保等優(yōu)點得意彰顯。