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某型磁懸浮渦輪分子泵的設計與分析
李兵 鄒蒙 李奇志
北京中科科儀股份有限公司研發(fā)中心 北京 100190
摘 要:渦輪分子泵是一種低振動的高速旋轉(zhuǎn)機械，其渦輪等關鍵件設計的準確性直接關系到產(chǎn)品的性能和可靠性。
本文以某型磁懸浮渦輪分子泵部分設計的實例，分析了渦輪的主要載荷和振動特性、渦輪分子泵在應用上的傳熱問題，同時針對試驗過程中出現(xiàn)的問題,給出了相應的解決措施和思路，為渦輪分子泵的設計提供了參考。
關鍵詞：磁懸浮分子泵 渦輪 有限元分析
復合分子泵作為氦質(zhì)譜檢漏儀的重要部件，其自身的幾何參數(shù)在影響抽氣性能的同時也影響檢漏儀的檢測性能。
水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?/p>
余擺線真空泵的轉(zhuǎn)子與泵腔的型線均為“余擺線”，本文講述了余擺線真空泵的工作原理與特點及應用。
清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他
單螺桿泵是一種新型的內(nèi)嚙合回轉(zhuǎn)式容積泵。主要工作部件是偏心螺桿（轉(zhuǎn)子）和固定的襯套（定子）。與其他泵相比，單螺桿泵的優(yōu)勢
選用真空泵時，需要注意下列事項。
旋片式真空泵是利用吸氣容積的變化來抽吸氣體的，其名義抽速可按吸氣的幾何容積來設計計算。氣鎮(zhèn)閥微量滲氣時可降低噪聲,還可作
本文以日機密封公司指定的一套螺旋槽干氣密封為研究對象，對其密封動環(huán)進行振動模態(tài)分析，并通過LMS振動試驗驗證分析的可靠性。
泵是輸送液體或使液體增壓的機械。它將原動機的機械能或其他外部
水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，屬于變?nèi)菔?/p>
講敘了常用的真空抽氣泵的工作原理，并給出抽氣圖。
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成，旋片泵有單級
水環(huán)式真空泵是液環(huán)式真空泵中最常見的一種。當工作液體為水時，
羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故中、高真空羅
螺桿泵V密形成：必須滿足四個密封條件，才能形成密封積。本文圖
本文講述了分子泵的基本結構和工作原理圖。
分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，利
離心泵的主要性能參數(shù)包括流量Q、揚程H、效率、軸功率N，本文就
