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低溫泵

推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國(guó)內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國(guó)產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

EAST裝置的內(nèi)置式低溫冷凝泵系統(tǒng)

介紹了內(nèi)置式低溫泵系統(tǒng)的基本設(shè)計(jì)、制造和性能測(cè)試
低溫泵抽氣性能測(cè)試平臺(tái)的抽速測(cè)量不確定度研究

介紹了低溫泵抽氣性能測(cè)試平臺(tái)的組成和抽速測(cè)量的基本原理,分析了壓力和充氣量的不確定度分量來(lái)源
G-M低溫泵系統(tǒng)的故障診斷與分析

低溫泵系統(tǒng)的故障主要有: 壓縮機(jī)故障、低溫泵故障和再生故障。壓縮機(jī)故障又分為潤(rùn)滑油泄漏、氦氣泄漏、不能啟動(dòng)和噪音。低溫泵故障又分為低溫泵不能冷卻、低溫泵噪音。
制冷機(jī)冷卻型超導(dǎo)磁體杜瓦的研制

介紹了帶制冷機(jī)冷卻的超導(dǎo)磁體系統(tǒng)杜瓦的設(shè)計(jì)、制作及實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析。
G-M制冷機(jī)冷卻的超導(dǎo)磁體研制及性能試驗(yàn)

針對(duì)超導(dǎo)磁體液氦易揮發(fā)、需要不斷補(bǔ)充的問(wèn)題,為研制的超導(dǎo)磁體加裝了G-M制冷機(jī).
冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理及其維護(hù)保養(yǎng)

分析了冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理, 詳細(xì)敘述了工作時(shí)的相位關(guān)系。
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的參數(shù)和計(jì)算

對(duì)中性束的主要?dú)庠催M(jìn)行了說(shuō)明，低溫泵的抽速，熱負(fù)荷以及極限壓力進(jìn)行了初步的計(jì)算。
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的基本結(jié)構(gòu)

中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的主體基本結(jié)構(gòu)，即：以頂部主法蘭為固定支撐，4.5K雙面活性炭涂層的低溫冷面結(jié)合77K的經(jīng)黑化處理過(guò)的V字型折流板為主體部件的液氦和液氮雙回路系統(tǒng)。
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的工作原理

闡述了用于中性束束線的大抽速低溫泵的工作原理。
液氮溫度下JX-6型椰殼炭的性能測(cè)試

本文選取JX-6型椰殼活性炭，用全自動(dòng)比表面積及孔徑分析儀在液氮溫度下對(duì)其性能進(jìn)行了測(cè)試，并對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了分析。
幾種組合吸附劑的吸氫等溫線的測(cè)定及分析

測(cè)定了幾種組合吸附劑在低壓室溫下的吸氫等溫線,該組合吸附劑是由5A分子篩和含有不同比例PdO和Ag2O的吸氣劑組成的。本文對(duì)這些吸氫等溫線進(jìn)行了分析,擬合出在一定范圍內(nèi)適用的吸氫等溫方程式。
用制冷機(jī)低溫泵獲得清潔無(wú)油高真空

制冷機(jī)低溫泵以其抽速大和無(wú)污染的特點(diǎn)，在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。文章介紹了制冷機(jī)低溫泵的工作原理、結(jié)構(gòu)和特點(diǎn)，著重介紹了自主設(shè)計(jì)生產(chǎn)的制冷機(jī)低溫泵在國(guó)內(nèi)最大的空間環(huán)境模擬設(shè)備中調(diào)試和測(cè)量的情況，為獲
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的其它一些參數(shù)設(shè)計(jì)

介紹了我國(guó)某大型空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備中的大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究工作, 對(duì)設(shè)計(jì)研究中的一些技術(shù)問(wèn)題進(jìn)行了研究探討。
氦制冷低溫真空系統(tǒng)的抽速和熱負(fù)荷的最佳化設(shè)計(jì)

影響大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)抽速和熱負(fù)荷的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)相互制約, 需要通過(guò)蒙特卡洛方法進(jìn)行最佳化設(shè)計(jì)。
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)主要結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能基本上可以由系統(tǒng)抽速、系統(tǒng)降溫時(shí)間和抽氣面積三項(xiàng)指標(biāo)來(lái)表達(dá)。氦制冷系統(tǒng)的制冷功率對(duì)大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能的影響也是很大的。
冷凝泵的常規(guī)維護(hù)保養(yǎng)

冷凝泵的常規(guī)維護(hù)保養(yǎng)知識(shí)
冷凝泵的基本原理與制冷過(guò)程

G-M循環(huán)冷凍機(jī)的降溫過(guò)程是吸收外部熱量下降自身溫度的過(guò)程,從能量守恒的角度來(lái)分析,正好與活塞對(duì)外做的功相等。這就是制冷的基本原理。
冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造特點(diǎn)

冷凝泵的內(nèi)部件主要包括導(dǎo)流板、輻射罩、冷板、溫度計(jì)、一級(jí)冷頭、二級(jí)冷頭、冷凍機(jī)、活塞連桿、蓄冷器等等。
低溫泵再生起始和結(jié)束的判斷方法

討論了再生過(guò)程中再生起點(diǎn)和再生終點(diǎn)的判斷方法以及低溫泵冷頭溫度的測(cè)量方法。
制冷機(jī)低溫泵的常見(jiàn)再生方式

低溫泵捕集的氣體可以以固態(tài)、氣態(tài)或液態(tài)方式除去, 由于以固態(tài)方式除去冷凝物存在很多技術(shù)難題,根據(jù)加熱方式的不同, 再生方式一般分為:自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三類。