晶振膜厚控制儀應(yīng)用與展望
一、前言
國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)要實(shí)現(xiàn)多層膜自動(dòng)化操作日前均使用進(jìn)口的膜厚控制儀，使用進(jìn)口的控制儀存在以下幾個(gè)問題。其一、價(jià)格昂貴，其二、由于各廠家生產(chǎn)的設(shè)備不一，所以必須設(shè)計(jì)不同的接口，其三、現(xiàn)有的舊設(shè)備往往不能適應(yīng)。為此使用上海泰堯真空科技有限公司生產(chǎn)的FCM-II膜厚控制儀，只要國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)稍加配合即能簡(jiǎn)便地實(shí)現(xiàn)多層膜的半自動(dòng)化。
二、膜厚控制儀設(shè)計(jì)有良好的抗干擾電路
控制儀工作穩(wěn)定,速率和膜厚的控制能達(dá)到很高的精度,顯示屏中文顯示,簡(jiǎn)單而且直觀。用它控制國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)無須國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)作很大的改動(dòng)，甚至可以保留國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)原有的人工鍍膜的狀態(tài)，不失為國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)的最佳配套選擇。
三、膜厚控制儀有一輸出控制插頭CH，其輸出控制信號(hào)線定義如下：
(1)CH/1為+10V CH/2為-10V CH/3為地線,根據(jù)用戶要求組成一組自動(dòng)束流控制的屏蔽線,并帶有Q9插頭。
(2) CH/4 CH/5為一組擋板自動(dòng)控制線。只要將其并聯(lián)在鍍膜設(shè)備手控盒上 的擋板按鈕兩端，即能實(shí)現(xiàn)擋板自動(dòng)開關(guān)。
(3)CH/6 CH/7為一組坩堝自動(dòng)轉(zhuǎn)位控制線。只要將其并聯(lián)在鍍膜設(shè)備手控盒上的坩堝轉(zhuǎn)位點(diǎn)動(dòng)按鈕上，即可實(shí)現(xiàn)坩堝的自動(dòng)轉(zhuǎn)位。即當(dāng)上一層擋板關(guān)閉后，坩堝會(huì)自動(dòng)按順序轉(zhuǎn)動(dòng)1個(gè)位置。
(4)CH/8 CH/9為一組輸入的坩堝到位信號(hào)線。只要鍍膜設(shè)備能提供到位信號(hào)(編程或開關(guān)信均可，最好是2秒自復(fù)信號(hào))其作用是：當(dāng)坩堝到位后，儀器會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)繼續(xù)下一層的鍍膜程序。當(dāng)儀器的輸出/輸入接口用連接線與國(guó)產(chǎn)鍍膜設(shè)備按要求連接好之后。只要設(shè)備和儀器的“手動(dòng)/自動(dòng)”開關(guān)全部置“自動(dòng)”位置，鍍膜設(shè)備和膜厚控制儀就會(huì)按照下列程序動(dòng)作。
鍍膜機(jī)待命工作→膜厚控制儀開電源→編程(按坩堝順序號(hào)對(duì)應(yīng)編程)→開始一進(jìn)入第一層鍍膜程序→擋板自動(dòng)打開→控制束流→到達(dá)終厚→擋板自動(dòng)關(guān)閉→坩堝自動(dòng)按順序轉(zhuǎn)到2號(hào)坩堝→坩堝到位給出到位信號(hào)→儀器自動(dòng)啟動(dòng)進(jìn)入第二層鍍膜程序……進(jìn)入第六層鍍膜程序→將膜厚控制儀“手動(dòng)/自動(dòng)”開關(guān)置“手動(dòng)”位置→到達(dá)終厚→擋板自動(dòng)關(guān)閉一儀器自動(dòng)停止工作→完成一個(gè)6層膜系的工作。
四、膜厚控制儀除具有上述工作特點(diǎn)外,還有如下一些技術(shù)特性
(1)可根據(jù)不同的鍍膜機(jī)配合制造不同形狀和尺寸規(guī)格的探頭。(包括二探頭、三探頭等，達(dá)到不打開真空室更換探頭的目的)。
(2)鍍膜過程參數(shù)即時(shí)顯示，厚度顯示分辨率lÅ，速率顯示分辨率0.1Å。
(3)總共可設(shè)置99層鍍膜層，可根據(jù)需要將它們編入l—16個(gè)次序號(hào)(膜系)中，便于操作調(diào)用。
